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硅片缺陷檢測解決方案檢測系統(tǒng)

2021-11-29 10:56

硅片是制作晶體管和集成電路的原料。一般是單晶硅的切片。硅片,是制作集成電路的重要材料。光伏行業(yè)近年來越來越重視硅片等產(chǎn)品的質(zhì)量檢測,以往常見的硅片會出現(xiàn)尺寸不合格、崩邊、隱裂等問題。那么國辰是如何解決這一問題的呢?下面和我一起去看看吧

【瑕疵問題】

尺寸不合格、崩邊、隱裂,四邊產(chǎn)生缺角、破碎等缺陷問題。如這些缺陷不能即時快速的被發(fā)現(xiàn),將會影響到的產(chǎn)品的質(zhì)量

【解決方法】

我們運用機器視覺的原理,對生產(chǎn)線上的硅片進(jìn)行實時圖像攝取,并通過專門開發(fā)的圖像處理分析軟件對圖像進(jìn)行分析,判斷硅片四周是否有缺陷。如檢測到有缺陷,就會通過聲、光報警提示操作人員及時處理。同時缺陷硅片的圖像被存儲到計算機,供事后查詢、分析。

【硅片在線檢測工藝流程】

硅片在線檢測工藝流程

【產(chǎn)品特點】

1、深度算法:可以根據(jù)不良品綜合多維度的邊界特征,進(jìn)行訓(xùn)練,做到很多傳統(tǒng)算法不能做到的檢測項目,不斷提高檢測精度;

2、缺陷標(biāo)識:發(fā)現(xiàn)瑕疵時可進(jìn)行聲光報警,同時產(chǎn)品幅面邊緣可以進(jìn)行自動標(biāo)記,提示及時修復(fù),避免大量缺陷產(chǎn)品的產(chǎn)生;

3、信息打?。涸跈z測到瑕疵時系統(tǒng)會自動統(tǒng)計出當(dāng)前瑕疵的圖像、面積、位置、大小等信息,同時可連接打印機選擇打印信息;

4、數(shù)據(jù)庫管理:可以對生產(chǎn)的每卷材料進(jìn)行精確的質(zhì)量統(tǒng)計,詳細(xì)的缺陷記錄和統(tǒng)計為生產(chǎn)工藝及設(shè)備狀態(tài)提供了方便,有效保證產(chǎn)品質(zhì)量;

5、系統(tǒng)聯(lián)動:當(dāng)系統(tǒng)檢測到疵點時進(jìn)行聲光報警,也可在系統(tǒng)中加入其它連鎖I/O輸出;

6、統(tǒng)計分析:功能豐富的OA軟件,具備存貯、報警、統(tǒng)計分析、報表等功能;

【檢測效果】

通過不斷優(yōu)化模板設(shè)置,進(jìn)行大批量的測試,檢測系統(tǒng)可檢出非常微小的崩邊、隱裂,四邊產(chǎn)生缺角、破碎等缺陷問題。這些硅片的提前剔除為提升后道工序的品質(zhì)、減少后續(xù)工藝?yán)速M有重要意義。且檢出>99%,誤檢率<0.05%,響應(yīng)時間0.1s,得到了客戶的認(rèn)可。

硅片在線檢測效果

小結(jié):目前解決硅片檢測的重要方法是依托機器視覺技術(shù)進(jìn)行解決,通過在線視覺檢測技術(shù)實現(xiàn)對人工檢測的替換,提升檢測的準(zhǔn)確性和減少人力成本。

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