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硅片表面缺陷視覺檢測

2022-02-15 10:39

在從硅片到太陽能電池的生產(chǎn)過程中,需要經(jīng)過硅片清洗制絨、等離子刻蝕、絲網(wǎng)印刷、檢驗分級等多個環(huán)節(jié)。需要進(jìn)行染色、劃傷、臟污、裂紋等多重檢測工序。手動測試效率低下,容易出錯;部分檢測設(shè)備價格昂貴,單一設(shè)備無法滿足所有客戶需求,定制化服務(wù)相對欠缺。

硅片視覺檢測

半導(dǎo)體行業(yè)的投資不斷加大,客戶對產(chǎn)品質(zhì)量和效率的要求也越來越高。傳統(tǒng)的人工操作難以滿足現(xiàn)代工廠的需求;如果借助光學(xué)儀器進(jìn)行人工檢測,不僅會耗費大量勞動力,還面臨效率低、漏檢率高等問題。

捕獲的目標(biāo)由CCD工業(yè)相機(jī)轉(zhuǎn)換成圖像信號,送入專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布和亮度信息轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號;圖像系統(tǒng)對這些信號進(jìn)行各種操作,提取目標(biāo)的特征,然后根據(jù)判別結(jié)果控制現(xiàn)場設(shè)備操作。該設(shè)備實現(xiàn)了元器件尺寸測量和外觀缺陷檢測、自動上料、自動檢測、自動分揀、自動卸料、不良品自動剔除的自動化流程。

機(jī)器檢測系統(tǒng)已在行業(yè)內(nèi)得到大規(guī)模的成功應(yīng)用,助力光伏產(chǎn)業(yè)合作伙伴自動化生產(chǎn)設(shè)備全面升級,具有降低工人勞動強(qiáng)度,消除安全隱患,提高工廠自動化程度和設(shè)備利用率,降低運(yùn)營管理成本的優(yōu)勢。


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